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光刻機/紫外曝光機 (Mask Aligner)
光刻機又名:掩模對準曝光機,曝光系統(tǒng),光刻系統(tǒng),紫外曝光機等。ECOPIA為全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商,多年來致力于掩模對準光刻機和勻膠機研發(fā)與生產(chǎn),并且廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、生物器件和納米科技領(lǐng)域;該公司是目前世界上最早將光刻機商品化的公司之一,擁有雄厚的技術(shù)研發(fā)力量和設(shè)備生產(chǎn)能力;并且其設(shè)備被眾多著名企業(yè)、研發(fā)中心、研究所和高校所采用;以優(yōu)秀的技術(shù)、精湛的工藝和良好的服務(wù),贏得了用戶的青睞。
金剛石劃片機 (Diamond Scriber)
德國尤尼坦RV系列金剛石手動劃片機(Diamond Scriber),適用于陶瓷、玻璃、半導(dǎo)體晶圓等多種材料劃片。主要型號包括:精確手動晶圓劃片機RV-129,低成本手動劃片機RV-126等。
半自動球焊機/鍥焊機 (Wire Bonder)
Wire Bonding是微電子及半導(dǎo)體器件的常用工藝,WB-200半自動焊線機可進行球焊、鍥焊、跳焊(Pump)等焊線工藝。
真空共晶爐
德國尤尼坦真空共晶爐、燒結(jié)爐,緊湊臺式設(shè)計,可在氮氣/甲酸等氛圍操作,廣泛用于激光、射頻電路、功率器件等微電子光電子行業(yè)的晶粒貼裝,以及金-硅合金,密集焊接和回流共晶。
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