[薦]
復(fù)旦大學(xué)快速退火爐RTP完成驗收
- 分類：新聞中心
- 發(fā)布時間：2020-09-23 14:51
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復(fù)旦大學(xué)快速退火爐RTP完成驗收
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復(fù)旦大學(xué)微電子學(xué)院從載德半導(dǎo)體技術(shù)有限公司采購了兩臺RTP-100快速退火爐，一臺用于快速退火氧化工藝(RTO)，一臺用于快速退火還原工藝。兩臺快速退火爐均為德國UniTemp公司生產(chǎn)，放置在復(fù)旦大學(xué)張江校區(qū)，本月均通過了學(xué)校組織的驗收，正式投入科研工作。
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